粒子計(jì)數(shù)器
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氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)。粒子計(jì)數(shù)可采用激光粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器。He2Ne激光粒子計(jì)數(shù)器，可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質(zhì)；Ar2Kr激光粒子計(jì)數(shù)器可分析0105μm粒徑顆粒雜質(zhì)，目前已有可檢測(cè)超高純氣中01005μm的粒子計(jì)數(shù)器。光電塵粒計(jì)數(shù)器是一種利用光的散射原理進(jìn)行塵粒計(jì)數(shù)的儀器。一定流量的含塵氣體通過(guò)一束強(qiáng)光，使粒子發(fā)射出散射光，經(jīng)過(guò)聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變?yōu)殡娒}沖，由脈沖數(shù)求得顆粒數(shù)。根據(jù)粒子散射光的強(qiáng)度與粒徑的函數(shù)關(guān)系得出粒子直徑。粒子計(jì)數(shù)器是高純或超高純供氣系統(tǒng)中必不可缺的儀器。價(jià)格較昂貴。
發(fā)展歷程
空氣粒子計(jì)數(shù)器是測(cè)試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器，由顯微鏡發(fā)展而來(lái)，經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計(jì)數(shù)器、激光空氣粒子計(jì)數(shù)器、PCS納米激光空氣粒子計(jì)數(shù)器的過(guò)程，其中因激光空氣粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試速度快、動(dòng)態(tài)分布寬、不受人為影響等各方面的優(yōu)勢(shì)，而成為近年來(lái)很多行業(yè)的主流產(chǎn)品。
不同標(biāo)準(zhǔn)的分類
1、按測(cè)試原理：光散亂法測(cè)試（白光、激光）、顯微鏡法測(cè)試、稱重法測(cè)試、DMA法測(cè)試（粒徑分析儀）、慣性法測(cè)試、擴(kuò)散法測(cè)試、凝聚核法測(cè)試(CNC)等。
2、按流量：小流量 0.1cfm(2.83L/min) 大流量 1cfm(28.3L/min)
3、按形狀、體積大小：手持式、臺(tái)式
4、按測(cè)試通道：?jiǎn)瓮ǖ溃ㄖ粶y(cè)某一種粒子徑）；雙通道（測(cè)試某兩種粒子徑）； 多通道（測(cè)試多種粒子徑）
5、其他：粒子計(jì)數(shù)器的應(yīng)用領(lǐng)域
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